1.清洗石英管的整個過程應嚴格按照擴散工序相關工藝安全(quan)標準進(jin)行。

　　2.清洗槽內(nei)如(ru)果存有以(yi)前用過的氫氟(fu)酸溶(rong)液(ye)，溶(rong)液(ye)不臟(zang)的情況下(xia)可以(yi)再(zai)往里面加10瓶(ping)氫氟(fu)酸（由生產人員(yuan)調(diao)配）；如(ru)果原有的氫氟(fu)酸溶(rong)液(ye)很臟(zang)，則應全部排空并洗凈槽體，然后(hou)通知生產人員(yuan)配液(ye)；如(ru)果槽內(nei)無以(yi)往剩下(xia)的氫氟(fu)酸溶(rong)液(ye)，洗凈槽體后(hou)請生產人員(yuan)配液(ye)。

　　3.清洗(xi)人(ren)員必須佩戴好(hao)防(fang)護(hu)眼鏡(jing)和防(fang)酸(suan)(suan)手(shou)套，然后將備用石(shi)英管放入石(shi)英管清洗(xi)機靠近里面的槽(cao)內，管口朝向(xiang)制(zhi)絨(rong)間，管尾指向(xiang)擴散(san)爐所(suo)在方(fang)向(xiang)。拉下防(fang)護(hu)門，將酸(suan)(suan)槽(cao)清洗(xi)時間設定為30min，按下控(kong)制(zhi)面板中"酸(suan)(suan)槽(cao)啟動(dong)"按鈕。

　　4.酸槽清(qing)洗時(shi)間的設定：

　　新的(de)石英管(guan)只需清洗30min左右。如(ru)果是用過(guo)的(de)石英管(guan)，應以(yi)將管(guan)內壁上沾附的(de)白色五氧化二(er)磷全部脫落(luo)的(de)時(shi)間為準(zhun)。清洗用過(guo)的(de)管(guan)子，有的(de)要1到2天時(shi)間。在酸槽未啟動(dong)的(de)情(qing)況下，應每隔2個(ge)小時(shi)將石英管(guan)旋轉180°。

　　5.清洗(xi)人員戴好(hao)防(fang)護眼鏡和(he)手套(tao)，將(jiang)石英管(guan)從(cong)酸槽(cao)(cao)取出，輕放入(ru)水(shui)槽(cao)(cao)。將(jiang)水(shui)槽(cao)(cao)內的水(shui)排空后(hou)用(yong)(yong)水(shui)槍沖(chong)洗(xi)石英管(guan)內外壁約5分鐘(zhong)。沖(chong)洗(xi)石英管(guan)內壁時不要按(an)(an)下"水(shui)槽(cao)(cao)啟動"按(an)(an)鈕，如果已(yi)經按(an)(an)下了應再按(an)(an)下"水(shui)槽(cao)(cao)結(jie)束"按(an)(an)鈕。然后(hou)把水(shui)槍拉到(dao)石英管(guan)管(guan)口(kou)，從(cong)管(guan)口(kou)向(xiang)管(guan)尾方向(xiang)沖(chong)洗(xi)管(guan)內壁。沖(chong)洗(xi)時應仔細認(ren)真，不要有殘留未(wei)沖(chong)到(dao)的區域(yu)。2分鐘(zhong)后(hou)，將(jiang)石英管(guan)旋轉180°，再用(yong)(yong)同樣方式沖(chong)洗(xi)2分鐘(zhong)。

　　6.將(jiang)純(chun)水(shui)(shui)注(zhu)入水(shui)(shui)槽(cao)，水(shui)(shui)位以能沒(mei)過石英管尾部的中間通氣管為(wei)準(zhun)。拉下(xia)防(fang)護(hu)門，然后將(jiang)水(shui)(shui)槽(cao)清(qing)洗時間設定為(wei)30min，按下(xia)"水(shui)(shui)槽(cao)啟(qi)動"按鈕(niu)。

　　7.重(zhong)復第6步(bu)，再清洗(xi)一遍。

　　8.水槽結(jie)束(shu)后，將水槽內(nei)的(de)水排(pai)空。然后，參照上面第5步(bu)(bu)的(de)方法(fa)用(yong)水槍沖(chong)(chong)洗(xi)石英管內(nei)/外壁(bi)。主要(yao)沖(chong)(chong)洗(xi)內(nei)壁(bi)。約5min后用(yong)水槍沖(chong)(chong)洗(xi)管尾的(de)四個小通氣管，同(tong)樣是(shi)管內(nei)壁(bi)。沖(chong)(chong)洗(xi)2分鐘后再繼續從管口(kou)方向沖(chong)(chong)洗(xi)。此步(bu)(bu)清(qing)(qing)洗(xi)時間應不少于15min，以管內(nei)外壁(bi)無顆粒(li)狀磷化物殘(can)留(liu)為清(qing)(qing)洗(xi)干凈的(de)標志。

　　9.清洗好(hao)后將石英(ying)管放到凈化(hua)間(jian)的指(zhi)定位置，下(xia)面墊上專用的泡沫。

　　10.將(jiang)管口和尾管用專用鋁箔密(mi)封。